| 1. Identity statement | ||||
| Reference Type | Report | |||
| Site | mtc-m21c.sid.inpe.br | |||
| Holder Code | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S | |||
| Identifier | 8JMKD3MGP3W34R/42QRPK5 | |||
| Repository | sid.inpe.br/mtc-m21c/2020/07.08.19.26 | |||
| Last Update | 2020:07.08.19.26.38 (UTC) simone | |||
| Metadata Repository | sid.inpe.br/mtc-m21c/2020/07.08.19.26.38 | |||
| Metadata Last Update | 2022:09.14.20.07.12 (UTC) administrator | |||
| Citation Key | SilvaBalFerBelAma:2014:CaÓpMo | |||
| Title | Características ópticas e morfológicas do silício poroso produzido por processo de anodização em soluções HF-Acetonitrila e HF-Etanol  | |||
| Year | 2014 | |||
| Access Date | 2024, May 09 | |||
| Type | RDP | |||
| Number of Pages | 44 | |||
| Number of Files | 1 | |||
| Size | 3939 KiB | |||
| 2. Context | ||||
| Author | 1 Silva, Belchior Elton Lima da 2 Baldan, Maurício Ribeiro 3 Ferreira, Neidenêi Gomes 4 Beloto, Antônio Fernando 5 Amaral Júnior, Miguel Angelo | |||
| Resume Identifier | 1 2 8JMKD3MGP5W/3C9JHTA 3 8JMKD3MGP5W/3C9JHU3 4 8JMKD3MGP5W/3C9JGJ8 | |||
| Group | 1 2 LAS-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR 3 LAS-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR 4 LAS-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR 5 LAS-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR | |||
| Affiliation | 1 Universidade Federal de São Paulo (UNIFESP) 2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 4 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 5 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) | |||
| Author e-Mail Address | 1 belchior.elton@unifesp.br 2 baldan@las.inpe.br | |||
| Institution | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais | |||
| City | São José dos Campos | |||
| History (UTC) | 2020-07-08 19:26:38 :: simone -> administrator :: 2022-09-14 20:07:12 :: administrator -> simone :: 2014 | |||
| 3. Content and structure | ||||
| Is the master or a copy? | is the master | |||
| Content Stage | completed | |||
| Transferable | 1 | |||
| Keywords | silício poroso anodização | |||
| Abstract | Este trabalho tem como objetivo estudar o efeito de alguns parâmetros experimentais (Tempo de ataque, densidade de corrente e composição do eletrólito) nas características morfológicas do silício poroso. Amostras de silício poroso podem ser produzidas a partir de diversas técnicas, as amostras contidas nesse relatório foram obtidas a partir do processo de anodização eletroquímica do silício monocristalino, esse método possibilita a obtenção de poros com diferentes morfologias, diâmetros e profundidades. Na anodização eletroquímica o substrato de silício é o eletrodo de trabalho, que é polarizado anodicamente. Neste caso utilizou-se um contra eletrodo de Platina, pois essa é inerte ao HF. Esses eletrodos foram inseridos em uma cuba eletrolítica também inerte ao eletrólito. As amostras foram obtidas a partir de lâminas de silício tipo-n, com orientação cristalográfica <100> e resistividade 1-20 Ω.cm. Na primeira etapa do trabalho avaliou-se o efeito do tempo de ataque nas características do PS. Para isso, variou-se a duração do processo de anodização (5, 10, 15, 20 e 30 min.) mantendo-se os outros parâmetros constantes. Os resultados demonstraram que, em ataques a partir de 20 minutos, as camadas porosas apresentam maior homogeneidade. Na segunda etapa da pesquisa o parâmetro estudado foi a densidade de corrente utilizada durante a anodização. Para avaliar o efeito desse parâmetro nas características do PS, foram realizados ataques de 20 minutos, onde se variou a corrente aplicada nas amostras (5, 10, 15, 20, 25, 30, 35 mA), mantendo os outros parâmetros experimentais constantes. Os resultados obtidos indicam que a condição ótima foi atingida na amostra de 30 mA. Por fim, estudou-se o efeito da composição do eletrólito no poro. Nessa terceira etapa foram realizados ataques de 20 minutos, utilizando-se uma corrente elétrica igual a 30 mA. Variou-se a molaridade de HF na solução eletrolítica, mantendo os outros parâmetros experimentais constantes. As características das amostras foram analisadas a partir da Microscopia Eletrônica de Varredura (morfologia superficial, diâmetro e profundidade dos poros) e da perfilometria óptica (rugosidade superficial das amostras, profundidade dos poros e área superficial total). | |||
| Area | FISMAT | |||
| Arrangement 1 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Características ópticas e... | |||
| Arrangement 2 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Acervo PIBIC/PIBITI > PIBIC/PIBITI 2014 > Características ópticas e... | |||
| doc Directory Content | access | |||
| source Directory Content | there are no files | |||
| agreement Directory Content |
| |||
| 4. Conditions of access and use | ||||
| data URL | http://mtc-m21c.sid.inpe.br/ibi/8JMKD3MGP3W34R/42QRPK5 | |||
| zipped data URL | http://mtc-m21c.sid.inpe.br/zip/8JMKD3MGP3W34R/42QRPK5 | |||
| Target File | Belchior Elton Lima da Silva.pdf | |||
| User Group | simone | |||
| Visibility | shown | |||
| Read Permission | allow from all | |||
| Update Permission | not transferred | |||
| 5. Allied materials | ||||
| Mirror Repository | urlib.net/www/2017/11.22.19.04.03 | |||
| Next Higher Units | 8JMKD3MGPCW/3ESR3H2 8JMKD3MGPDW34P/478H8PH | |||
| Citing Item List | sid.inpe.br/mtc-m21/2012/07.13.14.56.32 4 sid.inpe.br/mtc-m16c/2022/07.08.19.46 2 sid.inpe.br/mtc-m21/2012/07.13.14.56.52 2 | |||
| Dissemination | BNDEPOSITOLEGAL | |||
| Host Collection | urlib.net/www/2017/11.22.19.04 | |||
| 6. Notes | ||||
| Notes | Bolsa PIBIC/INPE/CNPq | |||
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| 7. Description control | ||||
| e-Mail (login) | simone | |||
| update | ||||